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Universal Pulsgeneratoren

RUP6

Der RUP6 besteht, je nach Ausführung, aus vielen in Kaskade geschalteten 1kV-IGBT-Halbbrücken-Pulsmodulen, die parallel geladen und für den Puls in Reihe geschaltet werden. Dadurch wird nur ein 1kV-Primärnetzteil gebraucht. Spannungsversorgung und Modulator sind bei diesem Prinzip untrennbar ineinander integriert. Die Pulsbreite ist in sehr weiten Grenzen frei wählbar und ist nur durch die gespeicherte Energie begrenzt.

RUP6
RUP6-1c
RUP6
RUP6-25
RUP6
RUP6-6d

Die herausragenden Eigenschaften der RUP6 Serie sind:

  • Echter Rechteckpuls mit aktivem Abschalten
  • Pulslänge fast völlig frei einstellbar
  • Hoher Wirkungsgrad
  • Individuelle Skalierbarkeit der Spannung
  • Schnelle Arc-Abschaltung.
  • Ausgangsdrossel zur Strombegrenzung und zur Minimierung von Schaltverlusten
  • Mehrstufiges Einschalten zur Überschwinger-Minimierung

Allgemeine Technische Daten:

  • Modelle mit Hochspannungen von -1kV bis -35kV
  • 60A Pulsstrom mit Standardpulsmodul
  • 3A mittlerer Effektivstrom
  • Typische Anstiegs-Zeit 200ns -450ns (je nach Ausführung)
  • 2.5kW Ausgangsleistung (Standardausführung)
  • Frequenzen bis zu 3kHz, in einigen Fällen sind bis zu 5kHz möglich

Spezial Varianten:

  • Bipolare Ausführung
  • Integrierte, einstellbare Bias-Spannung  0 bis -200V
  • Im weiten Bereich einstellbare Anstiegszeit, speziell für kapazitive Lasten
  • Stromrückführungseingang, speziell für induktive Lasten
  • 200A Pulsstrom mit Hochstrommodul
  • 6kW und 12kW Ausgangsleistung mit Spezial-Netzteil und Drehstromversorgung

Anwendungen

  • Dual Hochspannungs-Magnetronsputtern
  • Plasmaimmersionsanwendungen
  • Flüssigkeitssterilisierung
  • Isolationstests an kapazitiven und induktiven Lasten

Downloads RUP6 Serie

PDF Generelles Datenblatt RUP6 deutsch

PDF RUP6 Bipolar (RUP6-25bibv6 englisch

PDF RUP6 Dual (RUP6-3x2) deutsch

PDF RUP6 kapazitive und induktive Lasten, 200A (RUP6-10CL) deutsch

Weitere Varianten finden Sie im Downloadbereich >>

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Referenzen der GBS Elektronik GmbH

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