Universal Pulsgeneratoren

RUP mit Röhrentechnik


Die Hochspannungspulsgeneratoren der RUP1-2 und RUP4-5 Serie wurden für negative Pulse auf Basis von Elektronenröhren konzipiert. Die Tetrode liegt hier parallel zur Last , wobei das Kathodenpotential nahe Erde ist.
Der Ausgang ist kapazitiv gekoppelt und prinzipiell Potentialfrei. Ein großer Vorteil der Röhrentechnik ist, dass sie inhärent strombegrenzt und unempfindlich gegenüber kurzzeitigen Überlastungen sind. Die Röhrentopologie hat aber auch Nachteile. So sind die Geräte nicht skalierbar, die Auswahl an geeigneten Tetroden war / ist begrenzt.

Beim Betrieb entsteht Röntgenstrahlung, die aufwendig mit Blei abgeschirmt werden muss und darüber hinaus genehmigungspflichtig ist.



Basisdaten der Pulsgeneratoren mit Elektronenröhren im Rückblick:

RUP1 Tetrode TH5188
Umax bis 100kV; Imax bis 10A; PDurchschnitt bis 1.5kW

RUP2 Tetrode 4PR250C
Umax bis 50kV; Imax bis 4A; PDurchschnitt bis 1kW

RUP4 Röhre 8960
Umax bis 45kV; Imax bis 32A; PDurchschnitt bis 8kW

RUP5 Röhre Y546
Umax bis 60kV Imax bis 100A; PDurchschnitt bis 10kW

Hauptanwendung:

  • Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Anmerkung:

Die GBS Elektronik GmbH hat die Produktion von Pulsgeneratoren auf Basis von Elektronenröhren eingestellt.
In ganz speziellen Fällen können Vorteile der Röhrentechnik nicht zu 100 Prozent durch andere Topologien ersetzt werden.
Daher ist unter bestimmten und begründeten Bedingungen dennoch ein Projekt denkbar.

Downloads RUP mit Röhrentechnik

PDF Datenblatt RUP4-1B deutsch


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Referenzen der GBS Elektronik GmbH

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